机器人技术

一、复合机器人晶圆搬运系统是什么复合机器人晶圆搬运系统是一种集成了多种功能和技术的先进自动化设备。它结合了不同类型机器人的优势,如移动机器人的灵活性和机械臂的精确操作能力,专门用于半导体制造过程中晶圆的高效、精准搬运。在半导体生产线上,晶圆是极其精密且昂贵的原材料,对搬运过程的要求极高,不能有任何的磕碰和污染。复合机器人晶圆搬运系统通过先进的传感器技术、智能控制系统以及高精度的执行机构,能够在复杂